微納加工及在納米材料與器件研究中的應用非逛不可
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內容簡介: 博客來書店 共分十二章，第1-8章分類介紹了幾種主要的微納加工技術，包括︰光學曝光、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、激光加工技術、納米壓印技術、離子束技術、薄膜技術和自組裝加工，即簡要概述了各種加工方法的科學基礎，又從實用出發，介紹了各種技術的主要工藝過程，特別涉及各種技術根據需要最新發展的一些創新方法。
第9－12章按幾個不同的領域，介紹了微納加工技術在納米材料與器件研究中的一些應用實例，包括電學、光學、磁學、生物等其它領域。這些成果深刻影響了當前納米科學與技術的發展，希望能對從事相關領域研究的讀者有所啟發和借鑒。
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- 作者： 顧長志
- 出版社：科學出版社
- 出版日期：2013/06/01
- 語言：簡體中文
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